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    鹵素檢漏儀是指用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)氣體作為示漏氣體的檢漏儀器。該類儀器分兩類:其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內探頭式)鹵素檢漏儀;其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等,其中氯里昂屬Z好。鹵素檢漏儀靈敏度可達3.2×lO-9Pam3/s。
 (1)工作原理與結構
    金屬鉑在800~900oC溫度下會發生正離子發射,當遇到鹵素氣體時,這種發射會急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應”,利用此效應制成了鹵素檢漏儀。
    傳感器是個二極管,加熱絲、陰極(外筒)、陽極(內筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發射正離子,被陰極接收的離子流由檢流計(或放大器)指示出來,且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。
(2)性能測試方法
    靈敏度、反應時間及恢復時間是鹵素檢漏儀的主要性能參數。其測試方法與氦質譜檢漏儀的相同,這里不再贅述。但是,鹵素檢漏儀(SF6檢漏儀)的指示與鹵素氣體的濃度有關:一般,低濃度的指示是線性的,中等濃度的是非線性的,而當濃度很高時儀器出現飽和或中毒現象。所以在進行性能測試或檢漏時,進入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應和lO-1~10oPa壓力范圍內工作,壓力過高或過低都會導致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀(SF6檢漏儀)的傳感器基本上是在大氣壓下工作的,靠吸氣裝置吸入氣體,使鹵素氣體流經傳感器。
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